1. パルスモーターのコントローラー、ドライバの電源投入。
2. 全ソフトの起動を確認。
3. マニピレーターの全軸の原点の確認。
4. グレーティングの種類のチェック。上流の分光器制御用Note PCで行う。
5. Frontend Slit のチェック。上流の分光器制御用Note PCで行う。
6. S1, S2 スリットのチェック。現場にて設定
7. M3, M4 ミラーのチェック。現場にて設定。M3のI0の信号線を、2D-PESにつなぎかえる。
8. ID のフェーズのチェック (ID1 30mm, ID2 90mm)。Webにて確認。X端末で設定する。
9. キッカーの状態を確認すること。
   ○動いていれば、キッカーを停止する。
   ○動いていなければ、キッカーが動くことを確認すること。停止期間直後などは要注意
10. 分光器,IDのロック状態のチェック。ロックされていれば,他ステーションでロックしているプログラムを停止する。
11. I0 Program のチェック。上流のI0用Note PCにて、I0用プログラムを起動。I0の配線を2Dへ変更。
    I0のロックはObject Controllerから、I0を選んで、LOCKされていないか、確認してください。
    [デスクトップにある、TotalYield/MC_ALL_GPIB.exeのみ起動。2D-PESのPCにて、Object controllerから、I0を選んで取れているのをCheck]
    注) I0は、ミラー表面にある元素[酸素(O)、炭素(C)、クロム(Cr)など]の吸収領域では正確な値になりませんので、I0に吸収構造が見られた場合は、I0の測定をしないことをお勧めします。
12. 上流のバルブのチェック。
13. スクリーンを入れて、光軸の確認。ずれている場合はチャンバーを動かす。注:) 動かす際には、チャンバーを固定しているねじ3本と、冷凍機を支えているの足のねじを緩めること。
    
14. R6161のリミット値の設定。
15. MCP、SCREENの設定
16. グレーティングのパラメータをソフトに入力
17. カメラの設定と、フォーカス、絞りの調整。
18. 光の位置を、蛍光版で確認。チャンバーの移動をして適正位置に。移動量はメモする。

以上

測定が異常に遅い場合の対処

I0がロックされていないか
I0は他の測定でも使われているため、切り替え時に、別のユーザーがソフトを立ち上げたままだと、そのソフトがI0を占有したままになっている場合があります。該当ユーザーが使っていたソフトを、終了させればOKです。